Meno:
8-palcový OP kremeňový krúžok
Funkcia a aplikácia:
Pôsobí ako ochranná zložka na zabránenie rôznym kontamináciám počas výrobného procesu leptania, čím zabezpečuje tesnenie a ochranu komory. Používa sa pri výrobných procesoch leptania doštiek, ktoré sú nízkoteplotné.
Výkonnostné požiadavky:
Vysoká odolnosť voči teplotám, korózia, vynikajúca tepelná stabilita a nízky obsah nečistôt.
Č. 5177 Qianghua West Road, ulica Dongqian, okres Nanxun, mesto Huzhou, provincia Zhejiang
+86-572-3032373
+86-572-3033016
StránkaOP Quartz Ring je vysoko presná súčiastka vyrobená z ultračistého taveného kremíka, navrhnutá tak, aby poskytovala spoľahlivú oporu, tesnenie alebo rozostupy v polovodičových a fotovoltaických spracovateľských systémoch. Je známy svojou výnimočnou tepelnou stabilitou, nízkou tepelnou rozťažnosťou a vynikajúcou chemickou odolnosťou, pričom tento prsteň odoláva náročným spracovateľským podmienkam a opakovaným termálnym cyklom.
Jeho presné rozmery zabezpečujú optimálne prispôsobenie a zarovnanie v zostavách pece, čím prispievajú k rovnomernému prúdeniu plynu a regulácii teploty počas procesov ako CVD, difúzia a žíhanie. Tavený kremičitý sklenený krúžok pomáha udržiavať prostredie bez kontaminácie, čo je kľúčové pre dosiahnutie konzistentnej kvality waferov a vysokých výrobných výnosov.
OP (nepriehľadné) kremeňové krúžky sú špecializované komponenty navrhnuté pre vysokoteplotné polovodičové procesy, kde je tepelná izolácia a znížené žiarenie kritické. V porovnaní so štandardnými kremeňovými krúžkami ponúkajú OP kremeňové krúžky vyššiu nepriehľadnosť, lepšie tepelné krytie a nižšiu priepustnosť svetla, čo pomáha udržiavať stabilné podmienky v peci a minimalizovať kontamináciu doštičky.
Štandardné kremeňové kruhy, hoci chemicky čisté a tepelne stabilné, prepúšťajú viac tepelného žiarenia a sú vhodnejšie pre všeobecné použitie, kde izolácia nie je kritická. Výber medzi OP a štandardnými kremeňovými krúžkami závisí od požiadaviek procesu, konštrukcie pece a potreby tepelnej uniformity a ochrany waferov.
Kľúčové body: