Kremeňová procesná trubica
Meno:
8-palcová kremeňová procesná trubica
Funkcia a aplikácia:
Pri výrobe polovodičov slúži kremeňová trubica ako nosič jadra pre vysokoteplotné procesy, plní kľúčové úlohy, ako je uzavretie vysokoteplotného prostredia, slúži ako nádoba na rast monokrystalického kremíka, odoláva korozívnej erózii plynov a udržiava ultra-čisté prostredie. Používa sa vo výrobných procesoch vrátane difúzie, oxidácie, nanášania CVD, prípravy a čistenia materiálu, ochrany plazmových procesov, monitorovania procesov a regulácie plynov, čo sú vysokoteplotné procesy.
Výkonnostné požiadavky:
Vysoká odolnosť voči teplotám, korózia a nízky obsah nečistôt.
-
Č. 5177 Qianghua West Road, ulica Dongqian, okres Nanxun, mesto Huzhou, provincia Zhejiang
-
+86-572-3032373
+86-572-3033016
StránkaKremeňová procesná trubica je dôležitou súčasťou vysokoteplotných polovodičových a fotovoltaických výrobných zariadení, navrhnutých tak, aby poskytovali prostredie bez kontaminácie pri spracovaní waferov. Vyrobený z vysoko čistého taveného kremeňa, poskytuje výnimočnú odolnosť voči tepelnému šoku, chemickej korózii a mechanickému zaťaženiu.
Vďaka presnej dimenzionálnej kontrole a hladkému vnútornému povrchu procesná trubica zabezpečuje rovnomerný prietok plynu a rozloženie teploty, čo je kľúčové pre procesy ako oxidácia, difúzia, LPCVD a žíhanie. Jeho štrukturálna stabilita pri opakovaných tepelných cykloch zaručuje dlhú životnosť a konzistentnú kvalitu výroby. Vhodná pre vertikálne aj horizontálne pecné systémy, 8-palcová kremeňová procesná trubica podporuje pokročilé 200 mm výrobné linky waferov zachovaním integrity procesu, konzistencie výťažku a spoľahlivosti prevádzky.
Prečo konštruktéri pecí uprednostňujú kremeňové trubice pred inými materiálmi
1. Výnimočná tepelná stabilita
Kremeň si zachováva štrukturálnu integritu pri extrémne vysokých teplotách, čo umožňuje konzistentné spracovanie doštiek bez deformácie alebo praskania.
2. Vynikajúca chemická odolnosť
Na rozdiel od kovov, ktoré môžu korodovať alebo reagovať s procesnými plynmi, kremeň je chemicky inertný, čo zabezpečuje minimálnu kontamináciu pri oxidácii, difúzii a CVD procesoch.
3. Vysoký obsah čistoty a nízky obsah nečistôt
Tavené kremeňové trubice majú veľmi nízke hladiny nečistôt a bublín, čo je kľúčové pre prevenciu chýb v citlivých polovodičových doštičkách.
4. Presná rozmerová presnosť
Kremeňové trubice sa vyrábajú s presnými toleranciami, čo umožňuje konzistentný prietok plynu a rovnomerné rozloženie tepla v peci.
5. Dlhodobá odolnosť
Kremeň lepšie odoláva tepelným šokom než kovy alebo keramika, čím znižuje prestoje a náklady na výmenu v polovodičových továrňach.
Kombinácia tepelnej stability, chemickej inertnosti, vysokej čistoty a presných rozmerov robí z kremeňových trubiek preferovanú voľbu pre konštruktérov pecí. Výber kvalitných kremeňových trubíc zaručuje lepší výťažok doštičky, rovnomernosť a spoľahlivú dlhodobú prevádzku.
