Meno:
8-palcové kremeňové základy
Funkcia a aplikácia:
Do strednej drážky základu sa umiestňuje prepáč, ktorá rozptyľuje prúd plynu a zabezpečuje stabilné vystavenie plynu kremíkovým doštičkám vo vnútri hore umiestneného kremeňového člna. Používa sa pri procesoch výroby plátkov, ako sú difúzia, oxidácia, nanášanie CVD a žíhanie, čo sú vysokoteplotné procesy.
Výkonnostné požiadavky:
Vysoká odolnosť voči teplotám, korózia, vynikajúca tepelná stabilita, pieskovaný povrch a nízky obsah nečistôt.
Č. 5177 Qianghua West Road, ulica Dongqian, okres Nanxun, mesto Huzhou, provincia Zhejiang
+86-572-3032373
+86-572-3033016
StránkaKremeňový podstavec Slúži ako stabilná podporná platforma v polovodičových a fotovoltaických peciach, navrhnutá na bezpečné držanie doštiek alebo kremeňových lodí počas vysokoteplotného spracovania. Vyrobený z vysoko čistého taveného kremeňa, ponúka výnimočnú tepelnú odolnosť, chemickú inertnosť a mechanickú pevnosť.
Jeho presné rozmery zabezpečujú optimálne zarovnanie a rozostupy, čím podporujú rovnomerné rozloženie teploty a prúdenie plynu okolo doštičiek. Robustná konštrukcia podstavca odolá opakovaným tepelným cyklom bez deformácií alebo kontaminácie, čo prispieva k konzistentným výsledkom procesov a životnosti zariadenia.
Kľúčové tipy na údržbu:
Výhody správnej starostlivosti:
1. Predĺžená životnosť podstavca
2. Zníženie rizika kontaminácie waferov
3. Zlepšená jednotnosť procesu a výťažnosť
4. Menej náhrad a nižšie prevádzkové náklady
Zavedením konzistentnej údržbovej rutiny môžu polovodičové továrne zabezpečiť, že kremeňové podstavce budú naďalej poskytovať vysoký výkon, chrániac kvalitu zariadení aj doštičiek v náročných vysokoteplotných prostrediach.