StránkaKremeňová komora Slúži ako kritický kryt pre vysoko-čisté, vysokoteplotné spracovanie polovodičov a fotovoltaiky. Komora je vyrobená z prémiového taveného kremeňa, ponúka vynikajúcu odolnosť voči tepelným šokom, chemickú inertnosť a optickú priehľadnosť, čím zabezpečuje prostredie bez kontaminácie počas procesov ako chemická depozícia z pary (CVD), oxidácia a difúzia.

Komora je navrhnutá tak, aby zvládala 200 mm plátky, zabezpečuje rovnomerné rozloženie teploty a plynu, čo je nevyhnutné pre dosiahnutie konzistentných výsledkov procesu a vysokých výťažkov zariadení. Jeho precízne navrhnutá konštrukcia odoláva prísnym tepelným cyklom, pričom zachováva štrukturálnu integritu a minimalizuje tvorbu častíc.

Kremeňové komory na plazmové leptanie: Zabezpečenie čistoty procesu

Kremeňové komory zohrávajú kľúčovú úlohu v plazmových leptacích systémoch, poskytujú chemicky inertné a tepelne stabilné prostredie nevyhnutné pre vysoko presné spracovanie polovodičov. Tieto komory, vyrobené z vysoko čistého taveného kremeňa, odolávajú korózii spôsobenej reaktívnymi plazmovými plynmi, čím zabraňujú kontaminácii a zabezpečujú dlhodobú odolnosť pri vysokých teplotách.

Hladké, nízkočasticové povrchy kremeňových komôr minimalizujú tvorbu častíc, čo je kľúčové pre udržanie rovnomerného leptania na doštičkách. Správny návrh prietoku plynu v komore zlepšuje konzistenciu procesu a pomáha dosiahnuť rovnomerné odstraňovanie materiálu, čo je kľúčové pri pokročilej výrobe integrovaných obvodov.

Pravidelná údržba, vrátane čistenia a kontroly, zabezpečuje, že komora si udržiava optimálny výkon počas opakovaných leptacích cyklov. K dispozícii sú aj vlastné návrhy kremeňových komôr na splnenie špecifických požiadaviek pecí a procesov, čo poskytuje polovodičovým fabrikám flexibilitu a zároveň maximalizuje výťažnosť plátkov a opakovateľnosť procesu.