StránkaZakrútený plechový fúzny kremičitý člnje vysoko presný nosič plátkov navrhnutý pre polovodičové aplikácie zahŕňajúce vysokoteplotné dávkové spracovanie, ako je difúzia, oxidácia a nanášanie CVD. Vyrobená z vysoko čistého taveného kremíka, táto loď poskytuje výnimočnú tepelnú stabilitu, minimálnu tepelnú rozťažnosť a vynikajúcu odolnosť voči korózii aj tepelným šokom.

Jeho ohnutá platňová konštrukcia poskytuje stabilnú oporu doštičky a zlepšuje rovnomerný prietok plynu a prenos tepla v rúre pece. Hladký, čistý povrch minimalizuje tvorbu častíc, zatiaľ čo vysoká optická priehľadnosť materiálu umožňuje vizuálnu kontrolu, keď je to potrebné. Navrhnutý pre konzistentné zarovnanie doštiek a nízke riziko kontaminácie, čln s ohnutou doskou z fúzovaného kremíka spĺňa prísne požiadavky pokročilej výroby polovodičov, výskumných laboratórií a pilotných liniek.

Prečo sa volá Curved Plate Quartz Boat?

Termín "zakrivená kremeňová loď" pochádza z materiálu aj tvaru konštrukcie:

Kremeň:Loď je vyrobená z kremeňa s vysokou čistotou (tavený kremík), materiálu ceneného vo výrobe polovodičov pre svoju vynikajúcu tepelnú stabilitu, chemickú odolnosť a nízky obsah nečistôt.

Zakrivená platňa:Na rozdiel od plochých alebo rúrkových lodí tento dizajn obsahuje platňu, ktorá je ohnutá alebo zakrivená do oblúkového tvaru. Táto ohnutá (zakrivená) platňová štruktúra pomáha zlepšiť rozloženie prúdenia plynu a tepelnú jednotnosť okolo plátkov počas vysokoteplotného spracovania. Zakrivenie umožňuje lepšie vystavenie doštičiek procesným plynom a rovnomernejšie rozloženie tepla.

Loď:Pri spracovaní polovodičov je "loď" priemyselný termín pre nosič alebo upínač, ktorý pevne drží plátky počas spracovania v peci alebo difúznych trubiciach.

Takže "Curved Plate Quartz Boat" doslova znamená nosič plátkov na báze kremeňa s ohnutým (zakriveným) dizajnom platne, optimalizovaným pre rovnomerné spracovanie waferov pri vysokoteplotnej výrobe polovodičov.