Meno:

6-palcová séria člnov Quartz

Funkcia a aplikácia:

Táto séria zahŕňa rôzne kremeňové lode, ako sú cage boats, baffle boats, base boats a štandardné wafer boats, navrhnuté na podporu kremíkových waferov počas vysokoteplotných polovodičových procesov, ako je difúzia, oxidácia, nanášanie CVD a čistenie waferov. Tieto rôzne tvary a štruktúry optimalizujú prietok plynu, tepelnú jednotnosť a stabilitu plátkov v širokom spektre výrobných a výskumných aplikácií.

Výkonnostné požiadavky:

Konštrukcia z taveného kremeňa s vysokou čistotou s vynikajúcou tepelnou stabilitou, odolnosťou voči korózii a nízkym obsahom nečistôt. Robustný dizajn odolný voči opakovaným tepelným cyklom. Hladké, leštené alebo pieskované povrchy na minimalizáciu tvorby častíc a kontaminácie, čím sa zabezpečuje kompatibilita s automatizovanými systémami manipulácie s wafermi a rôznymi typmi pecí.