StránkaKremeňová prehradka s otvormi je presne navrhnutá komponenta navrhnutá na optimalizáciu prúdenia plynu a rovnomernosti teploty v polovodičových a fotovoltických peciach. Vyrobený z vysoko čistého taveného kremeňa, ponúka vynikajúcu odolnosť voči tepelným šokom, chemickú inertnosť a štrukturálnu stabilitu pri vysokých teplotách.

Strategicky umiestnená vo vnútri reakčných trubíc alebo komôr, prepážka pomáha rovnomerne rozložiť procesné plyny, znížiť turbulenciu a minimalizovať kontamináciu častíc. Jeho robustný dizajn odoláva opakovaným tepelným cyklom, pričom si zachováva konzistentný výkon počas difúzie, oxidácie, LPCVD a žíhacích procesov.

Funkcia otvorov na kremeňových prepáčkach

Otvory na kremeňovom prepáčniku plnia niekoľko kľúčových funkcií pri spracovaní polovodičových doštiek:

• Rovnomerná distribúcia plynu –Umožňujú procesným plynom (napr. kyslík, dusík alebo dopantové plyny) rovnomerne prúdiť cez doštičky, čím sa zabraňuje nerovnomernému vystaveniu.
• Tepelná uniformita –Umožnením kontrolovaného prietoku plynu diery pomáhajú udržiavať stabilnú teplotu na všetkých povrchoch doštičiek, čím sa znižuje výskyt horúcich miest.
• Kontrola kontaminácie –Otvory pomáhajú zabrániť spätnému toku alebo turbulencii, ktoré by mohli prenášať častice na povrch doštičky, čím sa zlepšuje čistota procesu.
• Zvýšená efektivita procesov –Správne navrhnuté otvory optimalizujú miešanie a difúziu plynov, čo vedie k konzistentnejšiemu nanášaniu alebo oxidácii filmov.

Stručne povedané, otvory premieňajú prehradku z jednoduchej bariéry na presné zariadenie na riadenie prietoku, ktoré zabezpečuje rovnomerné a spoľahlivé spracovanie doštiek.